【摘 要】
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———光刻法利用光学方法将计算机上设计的图形结构毫无磨损、毫无破坏地传送到基片上的方法称为光刻法。只有利用光刻法,利用光和微粒子射线而非机械刀具,才可能制造出临界
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———光刻法利用光学方法将计算机上设计的图形结构毫无磨损、毫无破坏地传送到基片上的方法称为光刻法。只有利用光刻法,利用光和微粒子射线而非机械刀具,才可能制造出临界尺寸在亚微米范围内的结构。无论是硅微机械、活性离子刻蚀还是LIGA工艺,光刻法都可能是微电子学和微系
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