非晶碳/Mo2C混合膜的场发射特性

• 作 者: 王朝勇 姚宁 张兵临 鲁占灵 方莉俐 邓记才 张新月 赵永梅
• 机 构: 郑州大学
• 出 处: 功能材料
• 发表日期: 2005年z1期
• 关键词: 场发射 微波等离子体化学气相沉积 非晶碳 Mo2C
• 基金项目: 教育部科学技术重点资助项目(205091)

以镀有Mo过渡层的A12O3衬底,在微波等离子体增强化学气相沉积(MPCVD)系统中,制备了非晶碳/Mo2C混合结构薄膜,反应气体为CH4和H2.在高真空室中测量了样品场发射特性.开启场强为0.55V/μm,在1.8V/μm电场下样品的发射电流密度为6.8mA/cm2.发射点点密度＞103/cm2.用SEM观察了表面形貌,Raman和XRD谱分析了薄膜的微观结构和成分.实验结果表明该薄膜是一种好的场致电子发射体.