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针对普通电沉积制备纳米薄膜工艺中的电极析气、电解、电镀等有害电极反应对沉积过程和沉积膜造成不良影响的问题，提出了一种待沉积薄膜的基材及其上的沉积膜不与沉积电路组成闭合电流回路的电场沉积装置及电场沉积制备纳米薄膜的新方法。在自制的电场沉积装置上制备了CdS薄膜并用AFM表征了薄膜微观结构。获得了粒径约30nm的CdS微粒致密平整薄膜。研究结果表明，新方法具有薄膜质量好、无需使用音金属电极、沉积速度快等优点．