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设计了一种以基于尺蠖运动原理的微动台为核心的扫描隧道显微镜(STM)机械机构,利用有限元方法对微动台部分的结构进行分析,对其静态、模态特性进行了实验研究.结果表明:微动台具有较大的行程和较好的稳定性,载物力可以达到16.7N,最小步距约8.8nm,行程14mm.
扫描隧道显微镜微动台的有限元分析与实验研究
【摘 要】
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设计了一种以基于尺蠖运动原理的微动台为核心的扫描隧道显微镜(STM)机械机构,利用有限元方法对微动台部分的结构进行分析,对其静态、模态特性进行了实验研究.结果表明:微动
【机 构】
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天津大学,精密测试技术及仪器国家重点试验室,天津,300072金日成综合大学,物理学院,朝鲜,平壤;天津大学,精密测试技术及仪器国家重点试验室,天津,300072;金日成综合大学,物理学院,朝鲜,平壤
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2008年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金;
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