本文介绍了一种面向逆工程的快速 3 60°三维测量系统 ,论述了其原理、结构 ,并详细讨论了其中的关键技术 ,包括激光扫描、数据的实时提取与校正、三维曲面拟合、图象渲染等
详细研究了离轴掩模的原理 ,将离轴照明 (OAI)与相移掩模 (PSM)技术结合起来 ,在掩模上同时实现两种功能 ,较大程度地提高了光刻分辨力 .实验表明 ,在数值孔径 0 .42 ,i线曝
构造了一种由q变形相干态与q变形真空态叠加而成的态,研究了它的光子统计分布特性和振幅平方压缩效应,借助数值计算方法讨论了叠加系数、变形参数对这些非经典特性的影响.