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【摘 要】
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本文介绍的是自行设计与制造的高度自动化MOCVD装置。该装置设有9路流量控制管路,6路源,1路HCl气源及氯气旁路,装置气密性好,8 kg/cm~2正压时,用Snoop溶液检测无泄露。配有真
【出 处】
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高速摄影与光子学
【发表日期】
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1990年4期
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