用光波干涉法测量精加工表面平面度

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随着产品质量的提高,对其技术检验提出了更高的要求。如我厂生产的240喷油泵套筒端面就要求表面光洁度不低于▽10;平面度不超过三条干涉带。采用光波干涉测量法,能够满足这种要求。现将这种测量方法简介如下。 With the improvement of product quality, the technical inspection put forward higher requirements. As I plant 240 injection pump sleeve end surface surface finish requirements of not less than ▽ 10; flatness of no more than three interference zone. Using lightwave interferometry, to meet this requirement. Now this measurement method is as follows.
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