IBM取消电子束ASIC计划转向亚微米CMOS制作

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据《Electronic News》最新消息,位于纽约East Fishkill的IBM公司正在重新有效地调整半导体生产研究计划,大幅度裁减小批量专用集成电路(ASIC)生产用的直写电子束光刻系统。 According to the latest news from Electronic News, IBM in East Fishkill, New York, is reshaping the semiconductor manufacturing research program to drastically reduce the direct-write e-beam lithography system used to make small quantities of application specific integrated circuits (ASICs).
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