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电子束图形分割程序FDEB
电子束图形分割程序FDEB
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:safafaffaf
【摘 要】
:
电子束图形分割程序FDEB将CAD系统产生的原始图形分割成不相交的几种基本图形,以适应电子束曝光机制作细线条IC版的需要。本文介绍了图形分割的主要算法以及场划分和曝光路径
【作 者】
:
张海平
【机 构】
:
中国华晶电子集团公司掩模中心无锡214035
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1991年2期
【关键词】
:
电子束
FDEB程序
图形分割
IC板
Electron-beam
Data process.
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电子束图形分割程序FDEB将CAD系统产生的原始图形分割成不相交的几种基本图形,以适应电子束曝光机制作细线条IC版的需要。本文介绍了图形分割的主要算法以及场划分和曝光路径优化的方法。
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