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中子嬗变掺杂直拉硅的内吸除机理与直拉硅不同,它是辐照缺陷与硅中氧杂质相互作用的结果。在1100℃、热退火4h即可完成中子嬗变掺杂直拉硅的内吸除处理。
中子嬗变掺杂直拉硅的内吸除效应
【摘 要】
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中子嬗变掺杂直拉硅的内吸除机理与直拉硅不同,它是辐照缺陷与硅中氧杂质相互作用的结果。在1100℃、热退火4h即可完成中子嬗变掺杂直拉硅的内吸除处理。
【机 构】
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河北工学院,河北工学院天津,天津,天津
【出 处】
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电子科学学刊
【发表日期】
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1991年5期
【基金项目】
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国家自科科学基金
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