【摘 要】
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本文叙述了测量和分析薄膜结构特性、机械性能和成分的各种方法。并讨论了这些性能对于在电子器件中应用薄膜的重要性。还提出了薄膜现象研究中所采用的品种比较重要的诊断技
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本文叙述了测量和分析薄膜结构特性、机械性能和成分的各种方法。并讨论了这些性能对于在电子器件中应用薄膜的重要性。还提出了薄膜现象研究中所采用的品种比较重要的诊断技术，主要技术是确定薄膜中原子类型及其排列情况。同时介绍了研究薄膜组织的显微技术，讨论了如何测量薄膜的最主要的机械特性，即应力、附着力和刚度。
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