C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量

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在λ=28.5nm波长处,我们选择了一种新的多层膜材料对C/AI。正入射A/AI多层膜在15.0nm附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的C/AI多层膜样品,用X射线小角衍射法对其结构进行了测试,并测得C/AI软X射红多层膜的正入以射率22%±4%。
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