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叙述了一个利用石英晶体膜厚控制系统在光同镀制半反射膜的工艺探索过程，包括膜系设计、工艺参数的修正。简要介绍了光控与晶控的特点，以实例证明了特殊情况下低温镀膜的可行性。
光纤端面半反膜晶控镀制实践
【摘 要】
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叙述了一个利用石英晶体膜厚控制系统在光同镀制半反射膜的工艺探索过程，包括膜系设计、工艺参数的修正。简要介绍了光控与晶控的特点，以实例证明了特殊情况下低温镀膜的可行性
【机 构】
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江苏曙光光学电子仪器厂
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1999年4期
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