【摘 要】
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我们用ＸＰＳ和ＵＰＳ研究了氧在Ｒｂ复盖的和清洁的ＩｎＰ（１００）表面的吸附行为．实验结果表明，碱金属可以使衬底的氧化能力大大增加．在氧的暴露量低于１Ｌ时，氧主要吸附在碱金属原子之间的ＩｎＰ衬底上，且位于Ｒｂ原子层之下
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室和结构分析开放实验室，中国科学院半导体研究所
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我们用ＸＰＳ和ＵＰＳ研究了氧在Ｒｂ复盖的和清洁的ＩｎＰ（１００）表面的吸附行为．实验结果表明，碱金属可以使衬底的氧化能力大大增加．在氧的暴露量低于１Ｌ时，氧主要吸附在碱金属原子之间的ＩｎＰ衬底上，且位于Ｒｂ原子层之下．当氧暴露量增加时，氧主要还是吸附在Ｒｂ覆盖层下面，这时衬底开始氧化．在清洁表面，氧主要吸附在Ｉｎ原子上．样品退火后，Ｒｂ部分脱附，同时，衬底的氧化物相（ＩｎＰＯ４）含量增加．
We used XPS and UPS to study the adsorption behavior of oxygen on Rb-coated and clean InP (100) surfaces. The experimental results show that the alkali metal can greatly increase the oxidation ability of the substrate. When the oxygen exposure is less than 1 L, oxygen is mainly adsorbed on the InP substrate between the alkali metal atoms and under the Rb atomic layer. As oxygen exposure increases, the oxygen is mainly adsorbed under the Rb blanket, at which time the substrate begins to oxidize. On the clean surface, oxygen is mainly adsorbed on the In atom. After the sample annealing, Rb partially desorbed, while the substrate oxide phase (InPO4) content increased.
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