【摘 要】
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报导了半导体薄膜CO2气体敏感膜的制备，敏感膜的结构特性、温度特性、灵敏度及响应特性和稳定度。
The preparation of CO2 gas-sensitive films for semiconductor films, t
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报导了半导体薄膜CO2气体敏感膜的制备，敏感膜的结构特性、温度特性、灵敏度及响应特性和稳定度。
The preparation of CO2 gas-sensitive films for semiconductor films, the structural properties, the temperature characteristics, the sensitivity and the response properties and the stability of the sensitive films were reported.
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