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K对H2O在Si(001)表面上吸附的影响
K对H2O在Si(001)表面上吸附的影响
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zc81065442
【摘 要】
:
在Si(001)-2×1表面上沉积碱金属K,接着在室温下吸附一定量的H2O,光电子谱证明:K的存在有促进H2O分解和使Si氧化的作用,但其作用是局域在K原子附近的。
【作 者】
:
李海洋
范朝阳
【机 构】
:
浙江大学物理系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1994年11期
【关键词】
:
硅
薄膜
吸附
钾
水
硅膜
【基金项目】
:
浙江省科学基金
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在Si(001)-2×1表面上沉积碱金属K,接着在室温下吸附一定量的H2O,光电子谱证明:K的存在有促进H2O分解和使Si氧化的作用,但其作用是局域在K原子附近的。
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