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利用喇曼散射研究了Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ合金型超晶格的结构热稳定性，对超晶格中折叠声学模和各类光学模的散射所作的定量分析表明：在８００℃下退火１０分钟，超晶格中由于原子互扩散引起的界面展宽已经非常严重；相比之下，晶格弛豫的大小与材料的生长条件有关。
Si1—xGex／Si应变层超晶格的结构稳定性研究
【摘 要】
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利用喇曼散射研究了Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ合金型超晶格的结构热稳定性，对超晶格中折叠声学模和各类光学模的散射所作的定量分析表明：在８００℃下退火１０分钟，超晶格中由于原子互扩散引起的界面展宽已经非常严
【机 构】
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复旦大学物理系和应用表面物理国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1996年7期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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