【摘 要】
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ＤｅｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎｏｆＩｎｔｅｒｓｔｉｔｉａｌＯｘｙｇｅｎＣｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｉｎＨｅａｖｉｌｙＤｏｐｅｄＳｉｌｉｃｏｎｂｙＣｏｍｂｉｎａｔｉｏｎｏｆＮｅｕｔｒｏｎＩｒｒａｄｉａｔｉｏｎａｎｄＦＴＩＲ￥ＭａＺｈｅｎｙｕ；ＷａｎｇＱｉｙｕ...
DeterminationofInterstitialOxygenConcentrationinHeavilyDopedSiliconbyCombinationofNeutronIrradiationandFTIR ¥ MaZhenyu; WangQ
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ＤｅｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎｏｆＩｎｔｅｒｓｔｉｔｉａｌＯｘｙｇｅｎＣｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｉｎＨｅａｖｉｌｙＤｏｐｅｄＳｉｌｉｃｏｎｂｙＣｏｍｂｉｎａｔｉｏｎｏｆＮｅｕｔｒｏｎＩｒｒａｄｉａｔｉｏｎａｎｄＦＴＩＲ￥ＭａＺｈｅｎｙｕ；ＷａｎｇＱｉｙｕ...
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