【摘 要】
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提出了一种基于微光机电系统技术实现的空间调制方式的微型傅里叶变换光谱仪,介绍了其分光干涉系统结构及工作原理.对其核心部件多级微反射镜的制作方法进行了研究,采用硅在K
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院,暨南大学光电工程系,
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提出了一种基于微光机电系统技术实现的空间调制方式的微型傅里叶变换光谱仪,介绍了其分光干涉系统结构及工作原理.对其核心部件多级微反射镜的制作方法进行了研究,采用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀方法制作多级微反射镜,硅腐蚀后形成的(111)反射面的表面粗糙度均方根小于10nm.
A micro-Fourier transform spectrometer based on the spatial modulation method of the micro-electro-mechanical system is proposed, and the structure and operating principle of the spectroscopic interference system are introduced.Moreover, the fabrication method of the multi-level micro-mirror with its core components is studied, A multi-level micromirror was fabricated by anisotropic etching of silicon in KOH solution. The root mean square of the surface roughness of the (111) reflector after silicon etching was less than 10 nm.
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