【摘 要】
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介绍了一种非接触式激光检测系统，可用于检测液晶曝光中液晶模板与基板之间的间隙，给出了该种系统的测量原理、硬件系统、信号处理方法、测量结果、分辨力和误差分析，并指出了这
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介绍了一种非接触式激光检测系统，可用于检测液晶曝光中液晶模板与基板之间的间隙，给出了该种系统的测量原理、硬件系统、信号处理方法、测量结果、分辨力和误差分析，并指出了这种测量系统的应用。
A non-contact laser detection system is introduced, which can be used to detect the gap between the LCD module and the substrate during liquid crystal exposure. The measurement principle, hardware system, signal processing method, measurement results, resolution and error of the system are given Analysis, and pointed out the application of this measurement system.
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