【摘 要】
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ＣＶＤ金刚石──上乘的衬底材料功率电子ＭＣＭ（多芯片组件）．工作中热负荷严重，可高达数十Ｗ或数百Ｗ，这给系统不断小型化带来了困难。美国的Ｓａｎｄｉａ国家实验室，开发了用ＣＶＤ金刚石作为ＭＣＭ的衬底，较好地解决了这个
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ＣＶＤ金刚石──上乘的衬底材料功率电子ＭＣＭ（多芯片组件）．工作中热负荷严重，可高达数十Ｗ或数百Ｗ，这给系统不断小型化带来了困难。美国的Ｓａｎｄｉａ国家实验室，开发了用ＣＶＤ金刚石作为ＭＣＭ的衬底，较好地解决了这个问题。用ＣＶＤ法制得的人造金刚石的导...
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