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多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术
多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:uouopolo
【摘 要】
:
列举了几种多晶硅高温压力传感器的热灵敏度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点.对采用多晶硅热敏电阻器进行补偿的两种补偿方法进行了详细地分析和测试.实验表明,这
【作 者】
:
罗秦川
张生才
姚素英
张为
曲宏伟
【机 构】
:
天津大学
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
多晶硅
压力传感器
热灵敏度漂移
灵敏系数
温度补偿
pressure sensor
polysilicon
thermal sensitivity shift
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列举了几种多晶硅高温压力传感器的热灵敏度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点.对采用多晶硅热敏电阻器进行补偿的两种补偿方法进行了详细地分析和测试.实验表明,这两种补偿法更适用于多晶硅压力传感器.
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