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采用动力学Monte Carlo方法模拟动力学控制条件下电沉积多晶镍薄膜的生长。研究了表面扩散对电镀薄膜微观结构的影响。模拟结果显示，溶液温度和沉积速率是2个非常重要的参数，它们能改变吸附原子的扩散能力，因而对薄膜的晶粒尺寸、相对密度、表面粗糙度等微观结构产生显著影响。此外，还得到该模式下薄膜的生长因子，大约为0．46。