微细加工技术

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(一)精密加工技术的发展与微细加工技术图1横座标表示年代,纵座标表示可达到的加工精度。这个图说明不同年代达到的最高加工精度。例如,1910年为10μm,1930年为1μm,1950年为0.1μm,而1980年以后则最高精度已达0.01μm,进入向毫微米进军的阶段。图中的三根曲线分别代表一般加工、精 (A) the development of precision machining technology and micro-processing technology Figure 1 abscissa indicates the era, the ordinate that can reach the machining accuracy. This figure shows the highest machining accuracy achieved in different years. For example, 10 μm in 1910, 1 μm in 1930 and 0.1 μm in 1950, and the highest precision since 1980 reached 0.01 μm and entered the stage of marching toward the nanometer. The three curves represent the general processing, fine
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