高频感应等离子体的能量平衡及极限功率

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1.引言高频感应等离子体由于没有电极的污染,所以在一些超纯材料,如TiO_2、SiO_2的制取中得到了广泛的应用。在这些材料的制取过程中,高频感应等离子体是一个提供高温气体的热源,因此,这时对等离子体弧柱进行吹气不仅是为了冷却等离子体容器,即灯具的器壁,而且也是为了提取等离子体弧柱中的热量,是作为高温热源的必要条件之一。但是,计算有流动时的等离子体各种参数需要花费较长的计算 1. INTRODUCTION Due to the absence of electrode contamination, high-frequency induction plasma has been widely used in preparation of some ultra-pure materials such as TiO_2 and SiO_2. During the preparation of these materials, the high-frequency induction plasma is a heat source that supplies hot gases. Therefore, the plasma arc is then blown not only to cool the plasma vessel, ie the walls of the luminaire, but also In order to extract the heat in the plasma arc column, it is one of the necessary conditions for high temperature heat source. However, calculating the various parameters of the plasma with the flow requires longer calculations
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