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氧化铝薄膜性能优异，具有较高的介电常数、高热导率、抗辐照能力强、抗碱离子渗透能力强以及在很宽的波长范围内透明等性能。因此，氧化铝薄膜广泛地应用于微电子器件、电致发光器件、光波导器件以及抗腐蚀涂层等众多领域。特别是氧化铝光学薄膜具有高的抗激光损伤阈值，用于制备增透膜、高反射薄膜等光学膜层，在惯性约束聚变的高功率固体激光器中具有广阔的应用前景。制备薄膜的方法有物理气相沉积法、化学气相沉积法和溶胶．凝胶法。与前两种方法相比，溶胶-凝胶法具有设备简单、操作方便、膜层质量高等特点，因此受到人们的广泛关注。