薄膜应力和点阵常数同时测定的S-B聚焦Guinier相机

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhf2003168
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叙述了Seemann-Bohlin聚焦Guinier薄膜相机(S-B相机)的衍射几何及应用这种相机同时测定薄膜应力和点阵参数的基本原理。给出了制作S-B相机的设计图。以Nb_3Ge超导薄膜样品为例,具体说明了使用S-B相机同时测定薄膜应力和点阵参数的方法和步骤。 The diffraction geometry of Seemann-Bohlin focused Guinier film camera (S-B camera) is described and the basic principle of using this camera to simultaneously measure film stress and lattice parameters is described. Given the production of S-B camera design. Taking the Nb_3Ge superconducting thin film as an example, the method and procedure for simultaneous determination of film stress and lattice parameters using S-B camera are described in detail.
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