【摘 要】
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用CVD法在铝表面同时沉积氧化铝和铜,在热扩散的作用下铜铝形成合金,使氧化铝和铝之间存在连续过渡层,这种氧化铝膜在厚度达100μm时仍和铝材有良好的结合强度。
Aluminum oxide and c
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用CVD法在铝表面同时沉积氧化铝和铜,在热扩散的作用下铜铝形成合金,使氧化铝和铝之间存在连续过渡层,这种氧化铝膜在厚度达100μm时仍和铝材有良好的结合强度。
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