论文部分内容阅读
类金刚石膜（Diamond-like carbon，DLC）优异的性能与碳原子sp^2 sp^3杂化密切相关。本文采用分子动力学方法，分别模拟计算了以C原子和CH3原子团为主要沉积物，在不同入射能量下制备无氢DLC膜和含氢DLC膜的动力学过程。研究了所生长成的两类DLC膜的具体形态及s—p杂化特性。揭示了无氢和含氢的两类DLC膜中sp^2与sp^3键的形成与连接结构形式，模拟结果表明：合适的入射能量可获得致密的DLC膜。在中等入射能量下，得到的sp^3键含量的计算结果较好地符合实验结果，体现了理论计算与分