带有频率输出的线性电容位移传感器

来源 :宇航计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong481
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本文介绍一种测量光学谐振腔的反射镜间距变化的简单而又具有理想线性特性的方法。由金属反射镀层构成的电容器作为反馈环的一部分,使得振荡频率与反射镜间距成正比。在反射镜间距达0.5mm 时,满度线性度仍为0.2%,分辨率为10nm。 This article describes a simple and yet ideal linear method for measuring changes in the mirror spacing of optical resonators. A capacitor consisting of a metal reflective coating acts as part of the feedback loop so that the oscillation frequency is proportional to the mirror spacing. With a mirror pitch of 0.5mm, full-scale linearity is still 0.2% with a resolution of 10nm.
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