【摘 要】
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在微细台阶的自动测量中，采用模糊控制的原理，使工作台运行达到快速、准确、平稳。
In the micro-level automatic measurement, the use of fuzzy control theory, the work
【机 构】
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在微细台阶的自动测量中，采用模糊控制的原理，使工作台运行达到快速、准确、平稳。
In the micro-level automatic measurement, the use of fuzzy control theory, the work table to achieve fast, accurate and stable.
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