【摘 要】
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TiNi合金薄膜由于其形状记忆特性等在相变过程中,伴随着力学,物理,化学,电学及光学性能的显著变化。此外,TiNi薄膜对环境的改变非常敏感,包括热场、应力场、电场以及磁场等,
【基金项目】
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辽宁省省部级技术开发基金项目《中德被动式节能示范工程》(2014—H—011)
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TiNi合金薄膜由于其形状记忆特性等在相变过程中,伴随着力学,物理,化学,电学及光学性能的显著变化。此外,TiNi薄膜对环境的改变非常敏感,包括热场、应力场、电场以及磁场等,因此是一种可用于微型传感器的理想材料。本文对TiNi薄膜的形状记忆效应(SME)以及其目前领域的应用进行了综述,重点介绍了合金组分对磁控溅射法制备薄膜SME特性的影响,以及TiNi合金薄膜目前在微驱动器,如微泵、微阀、微钳等方面的应用,并对未来该研究领域的发展方向提出了一些看法。
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