【摘 要】
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光学投影曝光是目前 LSI 和 VLSI 中图形复印的主要方法。本文叙述1:1全反射投影曝光技术和缩小投影曝光技术的工作原理、性能、极限和装置,并对这两种方法作一比较。
Optic
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光学投影曝光是目前 LSI 和 VLSI 中图形复印的主要方法。本文叙述1:1全反射投影曝光技术和缩小投影曝光技术的工作原理、性能、极限和装置,并对这两种方法作一比较。
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