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蓝宝石衬底上原子级光滑AlN外延层的MOCVD生长

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenhy8208

【作 者】

：

赵红  邹泽亚  赵文伯  刘挺  杨晓波  廖秀英  王振 

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2007年10期

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