【摘 要】
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将砷化镓和/或磷化镓等含镓材料连续输送到一个真空分解容器中,在高温下含镓材料就热解成气体砷和/或磷以及液体镓。液体镓存留于真空容器中,而气体砷和/或磷被转入另一真空
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将砷化镓和/或磷化镓等含镓材料连续输送到一个真空分解容器中,在高温下含镓材料就热解成气体砷和/或磷以及液体镓。液体镓存留于真空容器中,而气体砷和/或磷被转入另一真空容器,并在此容器中冷凝成固体加以回收。 这套回收装置包括一个安装于加热炉中的真空分解容器。真空容器的气相接收部分连接于一个预
Gallium-containing materials such as gallium arsenide and / or gallium phosphide are continuously delivered to a vacuum decomposition vessel, and the gallium-containing material is pyrolyzed to gaseous arsenic and / or phosphorus and liquid gallium at elevated temperatures. The liquid gallium remains in the vacuum vessel and the gaseous arsenic and / or phosphorus is transferred to another vacuum vessel where it is condensed to a solid for recovery. The recovery unit includes a vacuum decomposition vessel mounted in a furnace. The vapor receiving portion of the vacuum vessel is connected to a pre-stage
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