【摘 要】
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提出了一种新型光纤氢气传感器的制作方法。将光纤的包层侧边部分抛磨成“D”形状,用磁控溅射法在表面镀上钯(Pd)和Pd/WO3氢气敏感薄膜,制作出了倏逝场型光纤氢气传感器。实
【机 构】
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武汉理工大学光纤传感受技术与信息处理教育部重点实验实,
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提出了一种新型光纤氢气传感器的制作方法。将光纤的包层侧边部分抛磨成“D”形状,用磁控溅射法在表面镀上钯(Pd)和Pd/WO3氢气敏感薄膜,制作出了倏逝场型光纤氢气传感器。实验结果表明,镀有Pd/WO3复合膜的传感器具有较好的线性关系和可重复性,单模光纤比多模光纤稳定性好。
A new method of fabricating optical fiber hydrogen sensor is proposed. The side part of the cladding of the optical fiber was polished to a “D” shape. Pd and Pd / WO3 hydrogen sensitive films were deposited on the surface by magnetron sputtering to produce evanescent field optical fiber hydrogen sensors . The experimental results show that the sensor coated with Pd / WO3 composite film has good linearity and repeatability, and single-mode fiber has better stability than multi-mode fiber.
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