【摘 要】
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利用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，通过改变制备条件生长了一系列样品，样品退火后呈现P型导电特性。测量了样品的结构特性、光学性质和电学性质，实验表明薄膜厚度
【机 构】
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长安大学材料科学与工程学院,长安大学高性能路面国际合作研究中心
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利用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，通过改变制备条件生长了一系列样品，样品退火后呈现P型导电特性。测量了样品的结构特性、光学性质和电学性质，实验表明薄膜厚度与淀积时间、溅射功率分别呈近似线性关系；薄膜晶体质量随溅射功率、背景气压的增加而降低；退火过程是银元素形成受主的重要环节，且退火能有效提高薄膜晶体质量，改善薄膜的光学性质和电学性质。分析了这些影响的机理和来源。
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