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本文介绍了在GaAs材料上制做衍射光学元件(DOE)的现状和发展,分析了该领域近期的研究热点及重要成果.其中,着重对刻蚀技术进行了讨论.
在GaAs材料上制备衍射光学元件
【摘 要】
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本文介绍了在GaAs材料上制做衍射光学元件(DOE)的现状和发展,分析了该领域近期的研究热点及重要成果.其中,着重对刻蚀技术进行了讨论.
【机 构】
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中科院研究生院
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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2001年7期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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