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GexSi1—x/Si超晶格PIN波导探测器结构及性能参数
GexSi1—x/Si超晶格PIN波导探测器结构及性能参数
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:markhai
【摘 要】
:
从PIN波导探测器性能参数的定义出发,阐述了各类参数之间的内在联系,说明量子效率与带宽、灵敏度等物理量之间的矛盾现象。
【作 者】
:
李娜
刘恩科
【机 构】
:
西安交通大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
半导体器件
波导
光电探测器
量子效率
Semiconductor Devices
Waveguide
Photodetectors
Quantum Effic
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从PIN波导探测器性能参数的定义出发,阐述了各类参数之间的内在联系,说明量子效率与带宽、灵敏度等物理量之间的矛盾现象。
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