基于光学理论的PERC太阳电池背程AlOx/SiNx叠层膜的研究

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AlOx/SiNx叠层膜广泛应用于PERC(钝化发射极和背面局部接触)太阳电池中,以达到增强背反射和提高背表面钝化效果的作用。在先前的研究中,光学理论分析仅应用于正面单层SiNx或SiOx/SiNx双层膜厚度优化分析,极少应用于背面AlOx/SiNx双层膜优化分析。本文采用Matlab软件,基于光学导纳矩阵理论,同时将AM1.5G标准太阳光谱,AlOx、SiNx、Al在整个光谱范围内(280-1200nm)的折射率系数n(λ)考虑在内,系统分析了AlOx/SiNx双层膜的背反射效果。另外,依据背面AlOx
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