论文部分内容阅读
在离子束溅射石墨靶淀积DLC膜的同时用离子束轰击,对于拓宽和改善DLC膜的性质有重要意义。本文报导了离子束轰击对DLC膜的成膜速率、电阻率、折射率、红外透过率和抗腐性等影响的实验结果,分析讨论了离子轰击的影响机制。
离子轰击对溅射淀积DLC膜速率和性质的影响
【摘 要】
：
在离子束溅射石墨靶淀积DLC膜的同时用离子束轰击,对于拓宽和改善DLC膜的性质有重要意义。本文报导了离子束轰击对DLC膜的成膜速率、电阻率、折射率、红外透过率和抗腐性等影
【机 构】
：
兰州物理研究所,兰州大学材料科学系,兰州大学材料科学系
【出 处】
：
真空科学与技术学报
【发表日期】
：
1991年5期
其他文献
历史与企业家的对话，即史学与管理学的对话，实际上是史学与管理学相互交叉渗透，相互借鉴的过程。应该说，这一作法无论对史学也好，或者对管理学也好，都是有意义的。大家知道，管理作为
美国西海岸码头罢工封港事件,使人们领教了全球化时代罢工运动的威力,也引起人们对劳工问题和工会运动的关注.当今世界工会运动面临着严峻挑战,其根源在于经济全球化的迅速发
对真空阴极电弧沉积TiN装饰膜的沉积工艺和膜层性能的关系进行了研究。结果表明:适当选择N_2分压和负偏压对于改善基体表面离子轰击清洗效果、减少液滴分布、保证膜层颜色和
在银基底上蒸镀80nm的金薄膜,然后用不同温度和时间间隔对这些样品进行热处理。再用PHI 550型俄歇电子能谱仪测出上述样品金膜中银的浓度剖面分布。根据银的浓度剖面分布及Ha
对HL—1装置欧姆加热放电时的等离子体—器壁相互作用进行了实验研究。由装在抽气管道上的四极分析器所测得的气相杂质的抽除特性,推论H<sub>2</sub>O来源于器壁上受放电激活
目前,我国尚处于社会主义初级阶段,最迫切的任务是解放生产力,发展社会经济.为此,我们必须正确认识当代资本主义的时代特征,认真吸取和借鉴当代资本主义先进的科学技术和管理
正当人们期盼着一个和平美好的新世纪到来的时候,以美国为首的北约,竟然大动干戈,对一个弱小的、不能与之抗衡但主权独立的国家进行狂轰滥炸,以此作为其“新战略”的试验和北
【正】 Chlorine adsorption on the InP(100) surface at 300K and 150K has been studied by XPS, AES and UPS. The chlorine adsorption on InP(100) leads to a work fu
期刊
对ＮＹＺ－１８医用加速管，依据影响电子束流聚焦性能，要求不锈钢法兰磁导率μ≤１．０２。用磁导率测定仪测量１Ｃｒ１８Ｎｉ１９Ｔｉ不锈钢各种棒、板、管材在常用机械十的磁导率及其变化特点，为选择法兰材料及加工方法提