Au—Ag系统的扩散系数及其扩散激活能的研究

• 作 者: 刘友婴 李望 展振宗 陈国平
• 机 构: 南开大学电子材料系,理化工程研究院,南开大学物理系
• 出 处: 真空科学与技术
• 发表日期: 1993年4期
• 关键词: 金 银 薄膜 扩散系数 激活能 Interdiffusion coefficient Boundary diffusion coefficient Diff

在银基底上蒸镀80nm的金薄膜,然后用不同温度和时间间隔对这些样品进行热处理。再用PHI 550型俄歇电子能谱仪测出上述样品金膜中银的浓度剖面分布。根据银的浓度剖面分布及Hall公式算出Au-Ag系统的互扩散系数。由Leclaire公式计算出该系统的晶界扩散系数。从Arrhenius方程得出互扩散及晶界扩散激活能。并对实验和计算结果进行了讨论。