【摘 要】
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本文叙述了气相沉积中使用电阻真空计遇到的一些问题及解决的方法。
This article describes some of the problems encountered in the use of resistance vacuum gauges i
【机 构】
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青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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本文叙述了气相沉积中使用电阻真空计遇到的一些问题及解决的方法。
This article describes some of the problems encountered in the use of resistance vacuum gauges in vapor deposition and how to solve them.
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