【摘 要】
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计量光栅传感器以其精度高、量程大而广泛地应用于位移、角度、长度等测量系统中。高精度的计量和检测,通常要求长度精确到1～0.1μm,角度精确到1″～0.1″。如果以光栅的栅距或
【机 构】
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哈尔滨工业大学,哈尔滨第一工具厂 150006
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计量光栅传感器以其精度高、量程大而广泛地应用于位移、角度、长度等测量系统中。高精度的计量和检测,通常要求长度精确到1～0.1μm,角度精确到1″～0.1″。如果以光栅的栅距或栅角作计量单位,则要
Metering grating sensor with its high accuracy, large range and widely used in displacement, angle, length and other measurement systems. High-precision measurement and testing, usually requires length accurate to 1 ~ 0.1μm, the angle is accurate to 1 “~ 0.1”. If the grating grating or grating angle for the unit of measurement, it is necessary
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