【摘 要】
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本文综述SnO_2薄膜材料的制备、结构、光学及电学性质。近年来,由于SnO_2材料对某些气体具有敏感功能特性,本文着重讨论掺入Sb、Sb_2O_3、ThO_2和超微粒SnO_2薄膜材料对提高
【机 构】
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吉林大学电子科学系,吉林大学电子科学系,
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本文综述SnO_2薄膜材料的制备、结构、光学及电学性质。近年来,由于SnO_2材料对某些气体具有敏感功能特性,本文着重讨论掺入Sb、Sb_2O_3、ThO_2和超微粒SnO_2薄膜材料对提高检测气体灵敏度和选择性的作用机理。
This review summarizes the preparation, structure, optical and electrical properties of SnO_2 thin films. In recent years, due to the sensitive function of SnO_2 for some gases, this article focuses on the mechanism of improving the sensitivity and selectivity of the detection gas by incorporating Sb, Sb_2O_3, ThO_2 and ultrafine SnO_2 thin films.
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