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【摘 要】
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介绍了Synopsys Inc．新近推出的新一代纳米层次器件物理特性仿真工具——senTaums Device的功能特点以及进行器件物理特性仿真的典型流程。重点介绍了为实现nm级器件物理特性
【机 构】
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山东大学孟堯微电子研发中心
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2007年6期
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