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【摘 要】
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在对电机电流终点检测、光学终点检测以及抛光垫温度检测三种终点检测技术的检测原理、特点及其装置分析讨论的基础上，对终点检测硬件电路的设计效果进行了验证。采用STRASBAU
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2009年6期
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