【摘 要】
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20 0 2 0 730 氮化钛薄膜中加入铜以提高其硬度和细化组织———ＨｅＪＬ .Ｓｕｒｆａｃｅ＆ＣｏａｔｉｎｇｓＴｅｃｈｎｌｏｌｇｙ ,2 0 0 1,137(1) :38(英文 )用离子束辅助溅射沉积含少量铜的ＴｉＮ薄膜 ,铜对ＴｉＮ膜的性能和组织具有很强的改性效
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20 0 2 0 730 氮化钛薄膜中加入铜以提高其硬度和细化组织———ＨｅＪＬ .Ｓｕｒｆａｃｅ＆ＣｏａｔｉｎｇｓＴｅｃｈｎｌｏｌｇｙ ,2 0 0 1,137(1) :38(英文 )用离子束辅助溅射沉积含少量铜的ＴｉＮ薄膜 ,铜对ＴｉＮ膜的性能和组织具有很强的改性效用。当加入很低的 (原子分
20 0 2 0 730 Add Titanium to Titanium Nitride Films to Increase Hardness and Refine Tissue - HeJL. Surface & Coatings Technology, 2 0 0 1, 137 (1): 38 (English) TiN film, copper on the performance and organization of TiN film has a strong modification effect. When adding very low (atomic points
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