,A Vacuum Microelectronic Pressure Sensor Array Integrated with Temperature Sensor

来源 :中国电子杂志（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：blueeyes

【摘要】

：

This paper presents a microsystemthat integrates a Vacuum Microelectronic pressuresensor array with a temperature sensor. The Vac-uum Microelectronic pressure s

【作者】

：

SU Jie XIA Shanhong CHEN Shaofeng

【机构】

：

State Key Laboratory of Transducer Technology, Institute of Electronics, Chinese Academy of Sciences

【出处】

：

中国电子杂志（英文版）

【发表日期】

：

2001年3期

【关键词】

：

Vacuum microelectronics Pressuresensor Temperature sensor.

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This paper presents a microsystemthat integrates a Vacuum Microelectronic pressuresensor array with a temperature sensor. The Vac-uum Microelectronic pressure sensor array consists of4 × 4 sensing elements. The temperature sensor is aPt-thin-film resistor. Computer aided design is usedto optimize the structure.

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