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全硅集成光学──理论与工艺（Ⅵ）（续五）第六讲全硅集成光学导波无源器件赵策洲（副教授）（西安电子科技大学微电子所，西安７１００７１）１引言全硅集成光学导波无源器件包括硅定向耦合器、硅光栅耦合器、无间距定向耦合器、硅波导端接耦合器、光纤硅波导耦合器，以...
全硅集成光学—理论与工艺（Ⅳ）（续五）—第六讲 全硅集成光学导波无源器件
【摘 要】
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全硅集成光学──理论与工艺（Ⅵ）（续五）第六讲全硅集成光学导波无源器件赵策洲（副教授）（西安电子科技大学微电子所，西安７１００７１）１引言全硅集成光学导波无源器件包括硅定向耦合器、硅光栅耦合器
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1995年3期
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